2022-04-20 15:55
据外媒报道，在德国微电子研究工厂（FMD）支持下，弗劳恩霍夫（Fraunhofer）科学家及其合作伙伴开发出一种高分辨率广角激光雷达系统。原则上，这样的系统由激光器、发射激光束的扫描仪和读取反射激光束的捕捉光学元件组成，且各个组件可通过合适的电子接口相互通信。
在该项目中，费迪南德布劳恩研究所（Ferdinand Braun Institute）提供了一个脉冲激光源，包括控制电子器件；弗劳恩霍夫微电子电路和系统研究所（Fraunhofer Institute for Microelectronic Circuits and Systems，IMS）开发出一种带有预处理电子器件的捕获光学器件；弗劳恩霍夫硅技术研究所（Fraunhofer Institute for Silicon Technology，ISIT）生产出MEMS扫描仪。ISIT旗下公司OQmented将上述各个组件集成到一个完整的系统中。
该激光扫描仪搭载了MEMS技术（使用的微芯片制造工艺），并在弗劳恩霍夫ISIT制造完成。为了开发合适的MEMS扫描仪，ISIT科学家优化了扫描仪的驱动，使MEMS反射镜具有较大的偏转角和180°的视野。此外，科学家还改进了组件设计，以避免在这些大角度处产生机械应力，从而提高了使用寿命和可靠性。不仅如此，科学家们还详细研究了MEMS反射镜在冲击或振动下的机械行为，以确保在实际应用场景中的机械稳定性。最后，科学家将圆顶形玻璃盖安装在MEMS反射镜上。这种玻璃穹顶不仅可以保护设备免受环境影响，还可确保设备的高光学质量。
该新MEMS扫描仪非常坚固，且具有大扫描角度、高机械强度和稳定耐用性。项目合作伙伴已于2021年夏季完成了完整的激光雷达系统并测试了性能。
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