据外媒报道，泛林集团（Lam Research）首次推出生产型脉冲激光沉积（PLD）工具，以实现新一代基于微机电系统（MEMS）的麦克风和射频（RF）滤波器。Lam的Pulsus™可编程逻辑器件系统（Pulsus™ PLD system）可提供目前具有最高钪含量的氮化铝钪（AlScN）薄膜，为实现具有增强性能、容量和功能的先进消费和汽车设备铺平了道路。Pulsus现已面向部分专用设备制造商发货。
（图片来源：泛林集团）
Lam将Pulsus PLD加入产品组合，进一步扩展了其聚焦专业技术的沉积、蚀刻和单晶圆清洁产品的综合范围，以及该公司在这一领域的持续创新。
泛林集团副总裁兼客户支持业务集团总经理Chris Carter表示：“凭借在特种半导体技术方面深厚的专业知识、在沉积领域经过验证的能力，以及与法国原子能委员会电子与信息技术实验室（CEA-Leti）的战略合作，本公司在经过生产验证的2300®平台上为客户带来了这一变革性解决方案。这种新沉积技术有助于推进设备设计，加速特种市场的产品路线图发展。”
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