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泛林集团推出突破性沉积技术 以支持下一代5G及其他 MEMS

据外媒报道,泛林集团(Lam Research)首次推出生产型脉冲激光沉积(PLD)工具,以实现新一代基于微机电系统(MEMS)的麦克风和射频(RF)滤波器。Lam的Pulsus™可编程逻辑器件系统(Pulsus™ PLD system)可提供目前具有最高钪含量的氮化铝钪(AlScN)薄膜,为实现具有增强性能、容量和功能的先进消费和汽车设备铺平了道路。Pulsus现已面向部分专用设备制造商发货。

(图片来源:泛林集团)

Lam将Pulsus PLD加入产品组合,进一步扩展了其聚焦专业技术的沉积、蚀刻和单晶圆清洁产品的综合范围,以及该公司在这一领域的持续创新。

泛林集团副总裁兼客户支持业务集团总经理Chris Carter表示:“凭借在特种半导体技术方面深厚的专业知识、在沉积领域经过验证的能力,以及与法国原子能委员会电子与信息技术实验室(CEA-Leti)的战略合作,本公司在经过生产验证的2300®平台上为客户带来了这一变革性解决方案。这种新沉积技术有助于推进设备设计,加速特种市场的产品路线图发展。”

通过先进薄膜驱动高性能设备

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