2023-09-23 13:31
据外媒报道，德国弗劳恩霍夫光子微系统研究所（Fraunhofer IPMS）开发出光子微系统，可以使用可控的小镜子来调制光，从而产生独特的图像和结构。这些空间光调制器（SLM）是在半导体芯片上具有多达数百万个镜子的微镜阵列，可应用于半导体制造、显微镜和全息摄影等领域。
陶瓷封装的微镜阵列；512x320可单独寻址镜，像素尺寸为48μm。（图片来源：弗劳恩霍夫光子微系统研究所）
在实验室和1500平方米的洁净室中，该团队开发了一系列基于200 mm晶圆技术的特定用途空间光调制器。为了让每个微镜能够单独偏转，研究人员以高度集成的电子电路（ASIC）为基础来构建组件体系结构，再结合单片集成MEMS（微电子机械系统）技术，从而可以创建独特的微镜阵列。
此外，Fraunhofer IPMS还开发可以驱动该设备的电子器件和软件。为了促进技术应用，该研究所向客户提供评估工具包。除了微镜芯片本身，准备试用的设置还包括完整的电子控制器件（含软件在内）。
该Fraunhofer IPMS空间光调制器可用于深紫外微光刻、印刷电路板（PCB）制造、半导体检测和计量、自适应光学、天文学、全息和显微镜技术。该研究所已获得ISO 9001认证，从而验证其质量、技术和性能。
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